國產(chǎn)探針臺

　　一、明確測試需求

　　1、晶圓或器件尺寸：確定需要測試的晶圓或器件的最大尺寸，以及是否需要測試破片或單顆芯片，同時明確最小的單顆芯片尺寸。

　　2、測試精度要求：了解所需的探針臺機械精度，包括X/Y軸的移動行程、移動分辨率、精度和重復(fù)性。這些參數(shù)將直接影響測試的準確性和可靠性。

　　3、電極尺寸和類型：明確點測樣品的電極尺寸，例如是100μm×100μm或60μm×60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內(nèi)部的metal線路。

　　4、探針數(shù)量：確定是否需要多個探針同時點測，以及是否會用到探針卡測試。

　　二、考慮顯微鏡和光學需求

　　1、顯微鏡分辨率：選擇具有適當分辨率的光學顯微鏡，以滿足對測試樣品的精細觀察需求。

　　2、特殊光學需求：如果需要進行LC液晶熱點偵測等特殊測試，需要添加偏光片等光學元件。

　　三、考慮電氣測試需求

　　1、電流要求：了解探針點測時對電流的要求，例如是否能夠達到100fA或以下。

　　2、低電容要求：確定是否需要低電容測試，以及電容要求是否能夠達到0.1pF或更低。

　　3、射頻需求：如果需要進行射頻測試，需要選擇具有射頻測試功能的探針臺。

　　四、考慮測試環(huán)境需求

　　1、溫度控制：確定測試環(huán)境是否需要加熱或降溫，以及是否需要密閉腔體來保持測試環(huán)境的穩(wěn)定性。

　　2、防震需求：根據(jù)測試精度的要求，考慮是否需要防震桌來減少外界振動對測試的影響。

　　五、考慮其他因素

　　1、chuck的漏電要求：了解所需的探針臺對chuck的漏電要求，以及是否需要添加低阻抗chuck來提高測試精度。

　　2、品牌和服務(wù)：選擇具有良好口碑和售后服務(wù)的品牌，以確保設(shè)備的可靠性和長期穩(wěn)定運行。同時，考慮品牌是否提供定制化服務(wù)，以滿足特定的測試需求。

　　綜上所述，挑選適合的國產(chǎn)探針臺需要綜合考慮測試需求、顯微鏡和光學需求、電氣測試需求、測試環(huán)境需求以及其他因素。通過仔細評估這些因素，可以選擇出最適合自己測試需求的探針臺設(shè)備。