射頻探針臺(tái)

　　一、Chuck(卡盤)

　　Chuck是一種用于固定晶片或裸片的裝置，確保在測試過程中樣品不會(huì)移動(dòng)或損壞。它通常設(shè)計(jì)有精密的夾持機(jī)構(gòu)，能夠牢固地固定各種尺寸的晶片或裸片，同時(shí)避免對(duì)樣品造成任何損傷。

　　二、載物臺(tái)

　　載物臺(tái)用于將Chuck定位在X、Y、Z和Theta(θ)方向上。它通常配備有精密的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和定位系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的移動(dòng)和定位。載物臺(tái)的設(shè)計(jì)使得用戶可以方便地調(diào)整樣品的位置和角度，以滿足不同測試需求。

　　三、機(jī)械手

　　機(jī)械手是射頻探針臺(tái)中的關(guān)鍵部件之一，用于將探頭定位在被測設(shè)備(DUT)上。它通常具有多個(gè)自由度，能夠靈活地移動(dòng)和調(diào)整探頭的位置和角度。機(jī)械手的設(shè)計(jì)使得用戶可以精確地控制探頭的位置，確保測試過程中探頭與被測設(shè)備之間的接觸良好。

　　四、壓板

　　壓板用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸。它通常具有較大的接觸面積和適當(dāng)?shù)膲毫Γ�能夠確保探針在測試過程中與被測設(shè)備之間的穩(wěn)定接觸。壓板的設(shè)計(jì)使得用戶可以方便地調(diào)整壓力大小，以適應(yīng)不同測試需求和樣品特性。

　　五、探頭尖端和臂

　　探頭尖端和臂安裝在機(jī)械手上，它們直接接觸被測設(shè)備。探頭尖端通常具有較小的尺寸和高精度的設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)被測設(shè)備微小區(qū)域的精確測試。探頭臂則具有足夠的剛性和靈活性，能夠確保探頭在測試過程中的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

　　六、光學(xué)系統(tǒng)

　　光學(xué)系統(tǒng)用于查看和放大被測設(shè)備和探頭尖端。它通常包括顯微鏡、攝像頭等部件，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)被測設(shè)備的精細(xì)觀察和定位。光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)使得用戶可以清晰地看到被測設(shè)備的細(xì)節(jié)和探頭尖端的位置，從而確保測試的準(zhǔn)確性和可靠性。

　　七、其他輔助部件

　　除了以上關(guān)鍵部件外，射頻探針臺(tái)還可能包括一些其他輔助部件，如控制系統(tǒng)、電源系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)等。這些部件共同協(xié)作，確保射頻探針臺(tái)的正常運(yùn)行和測試過程的順利進(jìn)行。

　　以上關(guān)于射頻探針臺(tái)的結(jié)構(gòu)就為大家分享到這里，射頻探針臺(tái)的結(jié)構(gòu)相對(duì)復(fù)雜，但各部件之間緊密配合，共同實(shí)現(xiàn)了對(duì)射頻信號(hào)的精確測試和分析。在選擇射頻探針臺(tái)時(shí)，用戶應(yīng)根據(jù)自己的測試需求和預(yù)算進(jìn)行綜合考慮，選擇適合自己的設(shè)備。